Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : électronique

Titre(s) : Electron-beam technology in microelectronic fabrication [Texte électronique] / edited by George R. Brewer ; contributors, J.P. Ballantyne [and others]

Publication : New York : Academic Press, 1980

Description matérielle : 1 ressource dématérialisée

Note(s) : Includes bibliographical references and index

Autre(s) auteur(s) : Brewer, George Raymond (1922-....). Fonction indéterminée  Voir les notices liées en tant qu'auteur
Ballantyne, J. P.. Fonction indéterminée  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Sujet(s) : Lithographie par faisceau d'électrons  Voir les notices liées en tant que sujet
Microélectronique  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 9780121335502

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb44631108z

Notice n° :  FRBNF44631108 (notice reprise d'un réservoir extérieur)