- Notice
Lithographie par faisceau d'électrons
Vedette matière nom commun. S'emploie en tête de vedette.
<Employé pour :
Lithographie à faisceau d'électrons
Lithographie électronique
Lithographie à faisceau d'électrons
Lithographie électronique
Source(s) :
Étude et correction des effets de proximité et de topographie en lihographie par faisceau d'électrons : réalisation d'un simulateur / A. Ouabbou, 1993 [mémoire]
Étude et correction des effets de proximité et de topographie en lihographie par faisceau d'électrons : réalisation d'un simulateur / A. Ouabbou, 1993 [mémoire]
Domaine(s) : 530
. - 600
Correspondance(s) :
- LCSH (Library of Congress Subject Headings) : Lithography, Electron beam http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85077608
- LCSH (Library of Congress Subject Headings) : Lithography, Electron beam http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85077608
Correspondance(s) exacte(s) :
- RVMLaval (Répertoire Vedettes-Matière de l'Université Laval (Québec)) : Lithographie par faisceau d'électrons
- RVMLaval (Répertoire Vedettes-Matière de l'Université Laval (Québec)) : Lithographie par faisceau d'électrons
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb12153019s
Notice n° :
FRBNF12153019
Création :
90/07/05
Mise à jour :
14/09/12
