- Notice
000 cx j22 45
001 FRBNF181070769
005 20231009
100 .. $a 20231009afrey50 ba0
106 .. $a 211
152 .. $b rameau $c 2
250 .. $7 ba0yba0y $8 fre $9 $a Nanolithographie
450 .. $7 ba0yba0y $8 fre $9 $a Lithographie à l'échelle nanométrique
450 .. $7 ba0yba0y $8 fre $9 $a Nano-lithographie
686 .. $a 530 $c Physique $2 Note de regroupement par domaine
686 .. $a 600 $c Sciences appliquées $2 Note de regroupement par domaine
801 .. $a FR $b FR-751131015 $c 20231009
810 .. $a Glossaire de nanosciences et de nanotechnologies [in] Techniques de l'ingénieur, 2015,
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822 12 $a Nanolithography $2 LCSH $u http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh2011004496 $d 2023-10-09
822 12 $a Nanolithographie $2 RVMLaval $d 2023-10-09
