Notice RAMEAU

  • Notice
Microlithographie



Vedette matière nom commun. S'emploie en tête de vedette.

<<Terme(s) générique(s) :
Lithographie par faisceau d'électrons

>><<Terme(s) associé(s) : 
Gravure par plasma

>>Terme(s) spécifique(s) : 
Nanolithographie

Source(s) : 
Encycl. universalis (art. : Électronique, industrie ; Optique -- Optique électronique) : http://www.universalis-edu.com (2014-09-12)

Domaine(s) : 530 . - 600

Correspondance(s) : 
- LCSH  (Library of Congress Subject Headings) :  Microlithography  http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85084858

Correspondance(s) exacte(s) : 
- RVMLaval  (Répertoire Vedettes-Matière de l'Université Laval (Québec)) :  Microlithographie 

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb121517584
Notice n° :  FRBNF12151758

Création :  90/06/26
Mise à jour :  14/09/12

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