Notice bibliographique
- Notice
Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : électronique
Auteur(s) : Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication
Process Control (1992 ; Strasbourg, France)
Titre(s) : Semiconductor materials analysis and fabrication process control [Texte électronique] : proceedings of Symposium D on Diagnostic Techniques for Semiconductor Materials Analysis and Fabrication Process Control of the 1992 E-MRS Spring Conference, Strasbourg, France, June 2-5, 1992 / edited by G.M. Crean, R. Stuck, and J.A. Woollam
Publication : Amsterdam, the Netherlands : North-Holland, 1993
Description matérielle : 1 ressource dématérialisée
Collection : European Materials Research Society symposia proceedings ; v. 34
Note(s) : "Reprinted from Applied surface science 63"--Title page verso. - Includes bibliographical references and indexes
Autre(s) auteur(s) : Crean, G. M.. Fonction indéterminée
Stuck, R. Fonction indéterminée
Woollam, John A.. Fonction indéterminée
European materials research society. Fonction indéterminée
Sujet(s) : Semiconducteurs -- Analyse
Semiconducteurs -- Propriétés optiques
Semiconducteurs -- Qualité -- Contrôle
Production
Indice(s) Dewey :
537.622 1 (23e éd.) = Structure des semi-conducteurs (physique)
Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 9780444899088
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb446491110
Notice n° :
FRBNF44649111
(notice reprise d'un réservoir extérieur)