Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté. Image fixe : sans médiation

Titre(s) : EUV lithography [Texte imprimé] / Vivek Bakshi, editor

Publication : Bellingham, Wash. : SPIE Press, cop. 2009

Description matérielle : 1 vol. (XXVII-673 p.) : ill. ; 27 cm

Note(s) : Notes bibliogr.

Autre(s) auteur(s) : Bakshi, Vivek. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Autre(s) forme(s) du titre : 
- Forme développée du titre : Extreme ultraviolet lithography

Sujet(s) : Rayonnement ultraviolet -- Applications industrielles  Voir les notices liées en tant que sujet
Photolithographie  Voir les notices liées en tant que sujet
Revêtements optiques  Voir les notices liées en tant que sujet

Indice(s) Dewey :  621.381 5 (23e éd.) = Composants et circuits (électronique)  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 9780819469649 (SPIE). - ISBN 0819469645 (SPIE). - ISBN 9780470471555 (Wiley). - ISBN 0470471557 (Wiley) (rel.)

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb41485233p

Notice n° :  FRBNF41485233 (notice reprise d'un réservoir extérieur)