Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : microforme

Auteur(s) : Camargo Da Costa, José (1956-....)  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : Réalisation de couches minces de nitrure de silicium et d'oxyde de silicium nitruré par plasma réactif d'ammoniac en vue d'applications pour les technologies de circuits intégrés submicroniques [Microforme] / José Camargo Da Costa

Publication : Grenoble 2 : ANRT, 1988

Description matérielle : 1 microfiche ; 105 x 148 mm

Note(s) : Th. univ. : Microélectronique : Grenoble, Institut national polytechnique : 1988

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb376123764

Notice n° :  FRBNF37612376