Notice bibliographique
- Notice
Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : microforme
Auteur(s) : Yon, Jean-Jacques
Titre(s) : Oxydation du silicium poreux [Microforme] : application à la réalisation de structures silicium sur isolant / Jean-Jacques Yon
Publication : Grenoble 2 : ANRT, 1986
Description matérielle : 2 microfiches ; 105 x 148 mm
Note(s) : Th. : Microélectronique : Grenoble 1 : 1986
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb376018971
Notice n° :
FRBNF37601897