Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : électronique

Auteur(s) : Franz, Gerhard (Dr. rer. nat)  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : Low pressure plasmas and microstructuring technology [Texte électronique] / Gerhard Franz

Publication : Berlin ; London : Springer, 2009

Description matérielle : 1 ressource dématérialisée

Note(s) : Includes bibliographical references and index

Sujet(s) : Plasmas (gaz ionisés) -- Applications industrielles  Voir les notices liées en tant que sujet
Technique des plasmas  Voir les notices liées en tant que sujet
Gravure par plasma  Voir les notices liées en tant que sujet

Indice(s) Dewey :  621.044 (23e éd.) = Technique des plasmas  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 9783540858492

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb446969496

Notice n° :  FRBNF44696949 (notice reprise d'un réservoir extérieur)