Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : électronique

Auteur(s) : Bahreyni, Behraad  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : Fabrication and design of resonant microdevices [Texte électronique] / Behraad Bahreyni

Publication : Norwich, NY : W. Andrew Inc., c2008

Description matérielle : 1 ressource dématérialisée

Collection : Micro & nano technologies ; 3

Note(s) : Includes bibliographical references and index

Sujet(s) : Systèmes microélectromécaniques -- Construction  Voir les notices liées en tant que sujet
Micro-fabrication  Voir les notices liées en tant que sujet
Résonance  Voir les notices liées en tant que sujet

Indice(s) Dewey :  621 (23e éd.) = Physique appliquée  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 9780815515777

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb44651597x

Notice n° :  FRBNF44651597 (notice reprise d'un réservoir extérieur)

Table des matières : Introduction ; Microfabrication ; Transduction mechanisms ; Modelling of statics ; Modelling of dynamics ; Damping mechanisms ; Noise ; Interfacing ; Packaging ; Survey of applications.