Notice bibliographique
- Notice
Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : électronique
Auteur(s) : Stuart, R. V.
Titre(s) : Vacuum technology, thin films, and sputtering [Texte électronique] : an introduction / R.V. Stuart
Publication : New York : Academic Press, 1983
Description matérielle : 1 ressource dématérialisée
Note(s) : Includes index
Sujet(s) : Vide (technologie)
Couches minces
Pulvérisation cathodique -- Applications industrielles
Indice(s) Dewey :
621.55 (23e éd.) = Technologie du vide
Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 9780126747805
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb446388820
Notice n° :
FRBNF44638882
(notice reprise d'un réservoir extérieur)