Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : sans médiation

Auteur(s) : Borisenko, Victor Evgen'evich (1951-....)  Voir les notices liées en tant qu'auteur
Hesketh, Peter J.  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : Rapid thermal processing of semiconductors [Texte imprimé] / Victor E. Borisenko,... Peter J. Hesketh,...

Publication : New York (N.Y.) : Plenum press, 1997

Description matérielle : XXII-358 p. : ill. ; 26 cm

Collection : Microdevices physics and fabrication technologies

Lien à la collection : Microdevices physics and fabrication technologies  Voir toutes les notices liées

Note(s) : Bibliogr. p. 301-353. Index

Sujet(s) : Semiconducteurs -- Conception et construction  Voir les notices liées en tant que sujet
Recuit thermique rapide  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 0-306-45054-2 (rel.)

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb399873428

Notice n° :  FRBNF39987342