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Titre clé :  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena

Titre(s) : Journal of vacuum science [and] technology. B, Microelectronics and nanometer structures [Texte imprimé] / American vacuum society ; American institute of physics

Publication : New York : American institut of physics, 1991-

Note(s) : Suite de : "Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena" = ISSN 0734-211X. Le nouveau titre porte encore, par erreur, cet ISSN. - Not. réd. d'après le vol. 9, n °1 (1991, janv.-fevr.)

Périodicité : Bimest.

Autre(s) auteur(s) : American vacuum society. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur
American institute of physics. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Autre(s) forme(s) du titre : 
- Autre forme du titre : Microelectronics and nanometer structures

Sujet(s) : Vide (technologie)  Voir les notices liées en tant que sujet
Nanoparticules -- Mesure  Voir les notices liées en tant que sujet

Genre ou forme : Périodique  Voir les notices liées en tant que genre ou forme

621.381 05 (23e éd.) = Électronique (technologie) - Publications en série  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISSN 1071-1023 = Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena
Titre clé abrégé : Titre-clé abrégé : J. vac. sci. technol., B, Microelectron. nanometer struct. process. meas. phenom.
ISSN-L 1071-1023
cf.https://portal.issn.org/resource/ISSN/1071-1023

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb37574006p

Notice n° :  FRBNF37574006