Notice bibliographique
- Notice
Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté. Image fixe : sans médiation
Titre(s) : Polymers for microelectronics [Texte imprimé] : resists and dielectrics : developed from a symposium sponsored by the Division of polymeric materials, science and engineering, Inc., of the American chemical society and the Society of polymer science, Japan, at the 203rd National meeting of the American chemical society, San Francisco, California, April 5-10, 1992 / ed. by Larry F. Thompson,... C. Grant Willson,... Seiichi Tagawa,...
Publication : Washington : American chemical society, 1994
Description matérielle : XII-571 p. : ill. ; 24 cm
Collection : ACS symposium series ; 537
Lien à la collection : ACS symposium series
Note(s) : Bibliogr. à la fin de chaque chap. Index
Autre(s) auteur(s) : Thompson, Larry F.. Éditeur scientifique
Willson, C. Grant. Éditeur scientifique
Tagawa, Seiichi (1945-....). Éditeur scientifique
American chemical society. Division of polymeric materials, science and engineering. Éditeur scientifique
Society of polymer science (Japon). Éditeur scientifique
American chemical society. National meeting (203 ; 1992 ; San Francisco, Calif.). Éditeur scientifique
Sujet(s) : Microélectronique -- Matériaux
Polymères
Indice(s) Dewey : 621.381 531 (23e éd.) = Électronique - Circuits imprimés ; 668.9 (23e éd.) = Polymères et polymérisation (génie chimique) ; 621.319 37 (23e éd.) = Isolateurs
Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 0-8412-2721-7 (rel.)
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb374421567
Notice n° :
FRBNF37442156
