Notice bibliographique

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Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte. Image fixe : sans médiation

Titre(s) : Polymers for microelectronics [Texte imprimé] : resists and dielectrics : developed from a symposium sponsored by the Division of polymeric materials, science and engineering, Inc., of the American chemical society and the Society of polymer science, Japan, at the 203rd National meeting of the American chemical society, San Francisco, California, April 5-10, 1992 / ed. by Larry F. Thompson,... C. Grant Willson,... Seiichi Tagawa,...

Publication : Washington : American chemical society, 1994

Description matérielle : XII-571 p. : ill. ; 24 cm

Collection : ACS symposium series ; 537

Lien à la collection : ACS symposium series 


Note(s) : Bibliogr. à la fin de chaque chap. Index


Autre(s) auteur(s) : Thompson, Larry F.. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur
Willson, C. Grant. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur
Tagawa, Seiichi (1945-....). Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur
American chemical society. Division of polymeric materials, science and engineering. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur
Society of polymer science (Japon). Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur
American chemical society. National meeting (203 ; 1992 ; San Francisco, Calif.). Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur


Sujet(s) : Microélectronique -- Matériaux  Voir les notices liées en tant que sujet
Polymères  Voir les notices liées en tant que sujet

Indice(s) Dewey : 621.381 531 (23e éd.)  Voir les notices liées en tant que sujet ; 668.9 (23e éd.)  Voir les notices liées en tant que sujet ; 621.319 37 (23e éd.)  Voir les notices liées en tant que sujet


Numéros : ISBN 0-8412-2721-7 (rel.)

Notice n° :  FRBNF37442156



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