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Auteur(s) : Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique (02 ; 1983 ; Grenoble)  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : Secondes Journées d'études sur la gravure sèche en microélectronique [Texte imprimé] : 22 au 24 novembre 1983... Grenoble... / organisées par la Société française du vide

Publication : Paris (19, rue du Renard, 75004) : Société française du vide, 1983

Impression : 94-Villejuif : Impr. L. Camus

Description matérielle : 270 p. : ill. ; 24 cm

Note(s) : Suppl. à :". Le Vide, les couches minces ". 0223-4335 . 218 . 1983. - Notes bibliogr.. - Textes en anglais et en français

Autre(s) auteur(s) : Société française du vide. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Sujet(s) : Gravure par plasma  Voir les notices liées en tant que sujet
Microélectronique  Voir les notices liées en tant que sujet

Genre ou forme : Actes de congrès  Voir les notices liées en tant que genre ou forme

Identifiants, prix et caractéristiques : (Br.) : 380 F

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb347493557

Notice n° :  FRBNF34749355