Notice bibliographique
- Notice
Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : sans médiation
Titre(s) : MOEMS [Texte imprimé] : micro-opto-electro-mechanical systems / Manouchehr E. Motamedi editor
Publication : Bellingham (Wash.) : Spie, cop. 2005
Description matérielle : 1 vol. (XX-614 p.) : ill. ; 26 cm
Collection : Press monograph series ; Vol. PM126
Lien à la collection : SPIE press monograph
Note(s) : Notes bibliogr.
Autre(s) auteur(s) : Motamedi, Manouchehr E.. Éditeur scientifique
Sujet(s) : Systèmes microélectromécaniques
Dispositifs optoélectroniques
Micro-fabrication
Indice(s) Dewey :
621.381 (23e éd.) = Électronique (technologie)
Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 0-8194-5021-9 (rel.)
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb41292813v
Notice n° :
FRBNF41292813