Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté. Image fixe : sans médiation

Auteur(s) : Brodie, Ivor  Voir les notices liées en tant qu'auteur
Muray, Julius J. (1931-1991)  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : The physics of micro/nano-fabrication [Texte imprimé] / Ivor Brodie and Julius J. Muray

Publication : New York : Plenum Press, cop. 1992

Description matérielle : XIX-650 p. : ill. ; 26 cm

Collection : Microdevices

Lien à la collection : Microdevices physics and fabrication technologies  Voir toutes les notices liées

Note(s) : Comprend des références bibliogr. Index

Sujet(s) : Microélectronique  Voir les notices liées en tant que sujet

Indice(s) Dewey :  621.381 (23e éd.) = Électronique (technologie)  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 0-306-44146-2 (rel.)

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb375210883

Notice n° :  FRBNF37521088 (notice reprise d'un réservoir extérieur)