Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : microforme

Auteur(s) : Mahi, Bouarfa (1957-....)  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : Caractérisation d'un plasma multipolaire microonde de SF dilué [Microforme] : corrélation entre flux d'espèces incidentes et cinétiques de gravure de silicium

Publication : Grenoble 2 : ANRT, 1986

Description matérielle : 1 microfiche ; 105 x 148 mm

Note(s) : Th. 3e cycle : Microélectronique : Grenoble 1 : 1986

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb37599349d

Notice n° :  FRBNF37599349