Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté. Image fixe : sans médiation

Titre(s) : Lithography for VLSI [Texte imprimé] / ed. by Normann G. Einspruch,... [and] R. K. Watts,...

Titre d'ensemble : VLSI electronics ; 16

Lien au titre d'ensemble : Appartient à : VLSI electronics  Voir toutes les notices liées

Publication : Orlando ; San Diego ; New York [etc.] : Academic press : Harcourt Brace Jovanivich, 1987

Description matérielle : XI-361 p. : ill. ; 24 cm

Note(s) : Bibliogr. à la fin de chaque chap. Index

Autre(s) auteur(s) : Einspruch, Norman G.. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur
Watts, Roderick K.. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Sujet(s) : Circuits intégrés à très grande échelle  Voir les notices liées en tant que sujet
Lithographie  Voir les notices liées en tant que sujet

Indice(s) Dewey :  621.395 (23e éd.) = Systèmes de circuits (génie informatique)  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 0-12-234116-3

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb374418009

Notice n° :  FRBNF37441800