- Notice
Lithographie par rayons X
Vedette matière nom commun. S'emploie en tête de vedette.
<Employé pour :
Lithographie aux rayons X
Lithographie aux rayons X
Source(s) :
Lithographie profonde par rayons-X sur rayonnement synchroton / Z. Liu, 1997 [mémoire] . - Lithographie par rayons-X à très haute résolution : contribution à l'étude de la fabrication de structures nanométriques AlGaAs/GaAs par implantation ionique / R. K. Kupka, 1995 [microforme]
Lithographie profonde par rayons-X sur rayonnement synchroton / Z. Liu, 1997 [mémoire] . - Lithographie par rayons-X à très haute résolution : contribution à l'étude de la fabrication de structures nanométriques AlGaAs/GaAs par implantation ionique / R. K. Kupka, 1995 [microforme]
Domaine(s) : 530
. - 600
Correspondance(s) :
- LCSH (Library of Congress Subject Headings) : X-ray lithography http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85148736
- LCSH (Library of Congress Subject Headings) : X-ray lithography http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85148736
Correspondance(s) exacte(s) :
- RVMLaval (Répertoire Vedettes-Matière de l'Université Laval (Québec)) : Lithographie par rayons X
- RVMLaval (Répertoire Vedettes-Matière de l'Université Laval (Québec)) : Lithographie par rayons X
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb122603554
Notice n° :
FRBNF12260355
Création :
92/08/26
Mise à jour :
14/09/12
