Notice bibliographique
- Notice
Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : microforme
Auteur(s) : Ajaka, Michel (1955-....)
Titre(s) : Activation électrique et redistribution de l'arsenic et du bore implantés dans le silicium après recuit thermique rapide [Microforme] / Michel Ajaka
Publication : Grenoble 2 : ANRT, 1987
Description matérielle : 1 microfiche ; 105 x 148 mm
Note(s) : Th. univ. : Phys. de la matière condensée : Strasbourg 1 : 1987
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb37602162p
Notice n° :
FRBNF37602162