Notice bibliographique
- Notice
Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : sans médiation
Auteur(s) : Journées d'étude sur les nouvelles tendances en procédés magnétron et arc pour le
dépôt de couches minces (05 ; 2008 ; Lyon)
Titre(s) : 5e Journées d'étude sur les nouvelles tendances en procédés magnétron et arc pour le dépôt de couches minces, 4-5 juin 2008, Lyon [Texte imprimé] : actes des journées / [organisées par la] Société française du vide
Publication : Paris : Société française du vide, cop. 2008
Description matérielle : 1 vol. (32 p.) : ill. ; 30 cm
Autre(s) auteur(s) : Société française du vide. Éditeur scientifique
Sujet(s) : Couches minces
Magnétrons
Pulvérisation cathodique -- Applications industrielles
Genre ou forme : Actes de congrès
Indice(s) Dewey :
621.381 52 (23e éd.) = Semi-conducteurs
Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 978-2-9527742-6-0 (br.) : 15 EUR
EAN 9782952774260
Identifiant de la notice : ark:/12148/cb43847135q
Notice n° :
FRBNF43847135