Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté : microforme

Auteur(s) : Debrie, Francis (1960-....)  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Titre(s) : Elaboration d'une technologie auto-alignée par gravure plasma de métaux réfractaires pour transistors à effet de champ à hétérojonction (AIGaAs/GaAs) [Microforme]

Publication : Grenoble 2 : ANRT, 1986

Description matérielle : 1 microfiche ; 105 x 148 mm

Note(s) : Th. : Microélectronique : Toulouse, INPT : 1986

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb375970102

Notice n° :  FRBNF37597010