Type(s) de contenu et mode(s) de consultation : Texte noté. Image fixe : sans médiation

Titre(s) : Handbook of microlithography, micromaching, and microfabrication [Texte imprimé] / P. Rai-Choudhury, ed.

Publication : Bellingham, Wa : SPIE Optical Engineering Press : Institution of Electrical Engineers, 1997

Description matérielle : 2 vol. (VIII-768 p. ; VII-692 p.) : ill. ; 26 cm

Comprend : Vol. 1, Microlithography; Vol. 2, micromachinig and microfabrication

Autre(s) auteur(s) : Rai-Choudury, P.. Éditeur scientifique  Voir les notices liées en tant qu'auteur

Sujet(s) : Microlithographie  Voir les notices liées en tant que sujet

Indice(s) Dewey :  621.381 5 (23e éd.) = Composants et circuits (électronique)  Voir les notices liées en tant que sujet

Identifiants, prix et caractéristiques : ISBN 0-85296-906-6 (vol. 1). - ISBN 0-81942-378-5 (vol. 2) (rel.)

Identifiant de la notice  : ark:/12148/cb37514900v

Notice n° :  FRBNF37514900 (notice reprise d'un réservoir extérieur)